一種UV固化油墨及使用該油墨制備掩膜板的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310668653.2 申請日 -
公開（公告）號 CN104710869A 公開（公告）日 2015-06-17
申請公布號 CN104710869A 申請公布日 2015-06-17
分類號 C09D11/101(2014.01)I;G03F1/68(2012.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 劉屹東;張樂樂;沈波濤 申請（專利權(quán)）人 方圓環(huán)球光電技術(shù)鹽城有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 224005 江蘇省鹽城市鹽都區(qū)鹽瀆路9000-7號阜寧高等師范學(xué)校2號教學(xué)樓一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到一種UV固化油墨及使用該油墨制備掩膜板的方法。所述的一種UV固化墨由光活性預(yù)聚物、光引發(fā)劑、活性單體、顏料及添加劑組成，將UV固化油墨置入U(xiǎn)V平板噴繪機(jī)中，通過UV平板噴繪機(jī)，在襯底上打印出圖形化掩膜板，放入烘箱中烘烤，制得掩膜板，進(jìn)而在掩膜板上通過光刻技術(shù)制備出有機(jī)電子器件的電極。采用本發(fā)明方法制備的掩膜板，外觀邊緣整體、表面光滑平整、無污點(diǎn)，操作過程簡單、無需特殊工藝和特殊設(shè)備，適用于制造半導(dǎo)體器件電極常用的掩膜板，易于推廣使用。