一種電漿輔助化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821883596.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209144260U 公開(kāi)（公告）日 2019-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN209144260U 申請(qǐng)公布日 2019-07-23
分類號(hào) C23C16/44 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊福年;鄭錫文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞市和域戰(zhàn)士納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市智圈知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 東莞市和域戰(zhàn)士納米科技有限公司
地址 523000 廣東省東莞市塘廈鎮(zhèn)宏業(yè)北路99A16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電漿輔助化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括外腔，所述外腔內(nèi)部設(shè)有內(nèi)腔，所述內(nèi)腔頂部固定連接有電漿板，所述內(nèi)腔底部設(shè)有基板且基板底部通過(guò)電動(dòng)伸縮桿與內(nèi)腔連接，所述外腔表面設(shè)有氣壓測(cè)量?jī)x和報(bào)警器且氣壓測(cè)量?jī)x位于報(bào)警器一側(cè)，所述氣壓測(cè)量?jī)x與報(bào)警器電信連接，所述外腔表面下部設(shè)有角度測(cè)量?jī)x。本實(shí)用新型通過(guò)調(diào)節(jié)基板底部?jī)蓚?cè)的電動(dòng)伸縮桿的長(zhǎng)短，可對(duì)基板的角度改變，方便將基板表面的物質(zhì)更好的粘接在電漿板表面，避免物體浪費(fèi)，氣壓測(cè)量?jī)x能對(duì)內(nèi)腔中的氣壓檢測(cè)，當(dāng)內(nèi)腔中的氣壓過(guò)高時(shí)，報(bào)警器會(huì)發(fā)出聲音，方便及時(shí)連接，避免內(nèi)腔中因氣壓過(guò)大導(dǎo)致爆炸，保證設(shè)備使用的安全性。