MEMS振鏡及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111017550.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113448080A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113448080A 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類(lèi)號(hào) G02B26/08（2006.01）I 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 王子棟;程傳同 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京中科海芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京鼎承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王銘珠;柯宏達(dá)
地址 100089北京市海淀區(qū)西三旗建材城內(nèi)3幢二層258號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開(kāi)提供了一種MEMS振鏡及其制作方法。MEMS振鏡包括：振鏡部、外框、連接于振鏡部與外框之間的轉(zhuǎn)軸部，以及，疏水膜。其中，疏水膜至少包覆于轉(zhuǎn)軸部的外表面。所述方法包括：提供基底層；在基底層中形成MEMS振鏡的振鏡部、外框以及連接于振鏡部與外框之間的轉(zhuǎn)軸部；至少在轉(zhuǎn)軸部的外表面形成疏水膜。本公開(kāi)一些實(shí)施例提供的MEMS振鏡具有良好的抗疲勞性。