MEMS振鏡及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111017550.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113448080A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113448080A 申請公布日 2021-09-28
分類號 G02B26/08（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 王子棟;程傳同 申請（專利權）人 北京中科海芯科技有限公司
代理機構 北京鼎承知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 王銘珠;柯宏達
地址 100089北京市海淀區(qū)西三旗建材城內3幢二層258號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種MEMS振鏡及其制作方法。MEMS振鏡包括：振鏡部、外框、連接于振鏡部與外框之間的轉軸部，以及，疏水膜。其中，疏水膜至少包覆于轉軸部的外表面。所述方法包括：提供基底層；在基底層中形成MEMS振鏡的振鏡部、外框以及連接于振鏡部與外框之間的轉軸部；至少在轉軸部的外表面形成疏水膜。本公開一些實施例提供的MEMS振鏡具有良好的抗疲勞性。