一種用于晶圓的高效便利的自動裝載機構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021216609.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212010925U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN212010925U | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 鄭錦;薛傳洲;倪明;李蕊;吳俊冉 | 申請（專利權(quán)）人 | 南京原磊納米材料有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京專贏專利代理有限公司 | 代理人 | 南京原磊納米材料有限公司 |
| 地址 | 211800江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢305 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型實施例涉及半導體技術(shù)領域，具體公開了一種用于晶圓的高效便利的自動裝載機構(gòu)，包括與真空設備開合式連接的真空封閉門；還包括設于真空設備上的晶圓托架、第一傳動桿、第二傳動桿、限位架、滑軌組、機械手和升降部件；所述晶圓托架的一側(cè)與限位架的一端聯(lián)動，所述晶圓托架的另一側(cè)與第二傳動桿的一端聯(lián)動，所述第二傳動桿的另一端與真空封閉門鉸接，所述真空封閉門與第二傳動桿的鉸接連接處還與第一傳動桿的一端鉸接連接，所述第一傳動桿的另一端與所述限位架的另一端鉸接連接，所述限位架的另一端上下滑動設于所述滑軌組上。本實用新型實施例提高了晶圓傳輸效率，減少了人工操作對晶圓造成的損壞和對真空環(huán)境的污染。?? |
