一種用于晶圓的高效便利的自動(dòng)裝載機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021216609.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212010925U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212010925U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 鄭錦;薛傳洲;倪明;李蕊;吳俊冉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京原磊納米材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京專贏專利代理有限公司 | 代理人 | 南京原磊納米材料有限公司 |
| 地址 | 211800江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號(hào)12幢305 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型實(shí)施例涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種用于晶圓的高效便利的自動(dòng)裝載機(jī)構(gòu)，包括與真空設(shè)備開合式連接的真空封閉門；還包括設(shè)于真空設(shè)備上的晶圓托架、第一傳動(dòng)桿、第二傳動(dòng)桿、限位架、滑軌組、機(jī)械手和升降部件；所述晶圓托架的一側(cè)與限位架的一端聯(lián)動(dòng)，所述晶圓托架的另一側(cè)與第二傳動(dòng)桿的一端聯(lián)動(dòng)，所述第二傳動(dòng)桿的另一端與真空封閉門鉸接，所述真空封閉門與第二傳動(dòng)桿的鉸接連接處還與第一傳動(dòng)桿的一端鉸接連接，所述第一傳動(dòng)桿的另一端與所述限位架的另一端鉸接連接，所述限位架的另一端上下滑動(dòng)設(shè)于所述滑軌組上。本實(shí)用新型實(shí)施例提高了晶圓傳輸效率，減少了人工操作對(duì)晶圓造成的損壞和對(duì)真空環(huán)境的污染。?? |
