一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922129724.7 申請日 -
公開(公告)號 CN211258214U 公開(公告)日 2020-08-14
申請公布號 CN211258214U 申請公布日 2020-08-14
分類號 E05F15/53(2015.01)I 分類 -
發(fā)明人 鄭錦;吳俊冉;倪明;薛傳洲 申請(專利權(quán))人 南京原磊納米材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京專贏專利代理有限公司 代理人 南京原磊納米材料有限公司
地址 211800江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢305
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型具體是一種供晶圓柜體的頂蓋視窗氣動開合機(jī)構(gòu),屬于開關(guān)領(lǐng)域,包括呈并排設(shè)置的供晶圓柜體和頂蓋視窗,所述供晶圓柜體和所述頂蓋視窗之間安裝有氣缸部件;進(jìn)而,氣缸部件可實(shí)現(xiàn)頂蓋視窗開合,區(qū)別于傳統(tǒng)手動操作,頂蓋視窗的打開,關(guān)閉,壓緊均利用氣缸部件自動化完成,減少人工操作,提高效率并安裝氮?dú)鈴椈勺鳛楸Wo(hù)減少安全隱患。??