一種原子層沉積設(shè)備及其制備電池催化劑的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910140051.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109904473B 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN109904473B 申請公布日 2021-08-20
分類號 H01M4/92;H01M8/1011;C23C16/455;C23C16/26;C23C16/06 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李若雅;鄭錦;逯文冬;耿晨宇;黃洋;黃省三 申請（專利權(quán)）人 南京原磊納米材料有限公司
代理機構(gòu) 北京華仲龍騰專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李靜
地址 211800 江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢305
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及原子層沉積領(lǐng)域，具體是一種原子層沉積設(shè)備，包括等離子體發(fā)生器，所述等離子體發(fā)生器上端設(shè)有管道，等離子體發(fā)生器下端通過連接管道連接有反應(yīng)腔，反應(yīng)腔頂部設(shè)有支撐架，反應(yīng)腔左側(cè)安裝有進源管道。本發(fā)明原子層沉積設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，易操作；同時利用本發(fā)明原子層沉積設(shè)備制備直接甲醇燃料電池陽極催化劑的方法，高效、易實現(xiàn)，制備出產(chǎn)品具有高比表面積、優(yōu)異催化性能的優(yōu)點。進而解決了直接用氧化石墨烯做載體，電池的電化學(xué)性能測試并不能達到理想效果的問題。