一種電加熱密封結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020397216.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211267131U 公開（公告）日 2020-08-14
申請公布號 CN211267131U 申請公布日 2020-08-14
分類號 H05B3/54(2006.01)I;H05B3/04(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 鄭錦 申請（專利權）人 南京原磊納米材料有限公司
代理機構 北京專贏專利代理有限公司 代理人 南京原磊納米材料有限公司
地址 211800江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢305
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于原子層沉積設備領域，具體是一種電加熱密封結構，包括內(nèi)部開設有內(nèi)腔的接管，以及還包括貫穿在內(nèi)腔內(nèi)部的電加熱絲；在所述接管一端連接有法蘭Ⅰ，而法蘭Ⅰ上通過固定件安裝有法蘭Ⅱ；其中，在法蘭Ⅰ和法蘭Ⅱ之間的所述電加熱絲上套設有墊片Ⅰ和墊片Ⅱ；在遠離所述法蘭Ⅰ一側的法蘭Ⅱ上加裝有螺母；在實際應用中，內(nèi)腔是要保證電加熱絲的真空度，接管一端焊接法蘭Ⅰ上，法蘭Ⅱ用固定件與法蘭Ⅰ固定，中間用墊片Ⅰ密封，貫穿在內(nèi)腔內(nèi)部的電加熱絲，和法蘭Ⅱ中間用墊片Ⅱ密封，在下端用螺母拉緊，進而保證密封性；進而將電加熱接頭放在了腔體外面，脫離高溫環(huán)境，解決了密封膠熔化導致電加熱絲短路的問題。??