一種電加熱密封結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020397216.7 申請日 -
公開(公告)號 CN211267131U 公開(公告)日 2020-08-14
申請公布號 CN211267131U 申請公布日 2020-08-14
分類號 H05B3/54(2006.01)I;H05B3/04(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 鄭錦 申請(專利權(quán))人 南京原磊納米材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京專贏專利代理有限公司 代理人 南京原磊納米材料有限公司
地址 211800江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢305
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于原子層沉積設(shè)備領(lǐng)域,具體是一種電加熱密封結(jié)構(gòu),包括內(nèi)部開設(shè)有內(nèi)腔的接管,以及還包括貫穿在內(nèi)腔內(nèi)部的電加熱絲;在所述接管一端連接有法蘭Ⅰ,而法蘭Ⅰ上通過固定件安裝有法蘭Ⅱ;其中,在法蘭Ⅰ和法蘭Ⅱ之間的所述電加熱絲上套設(shè)有墊片Ⅰ和墊片Ⅱ;在遠(yuǎn)離所述法蘭Ⅰ一側(cè)的法蘭Ⅱ上加裝有螺母;在實(shí)際應(yīng)用中,內(nèi)腔是要保證電加熱絲的真空度,接管一端焊接法蘭Ⅰ上,法蘭Ⅱ用固定件與法蘭Ⅰ固定,中間用墊片Ⅰ密封,貫穿在內(nèi)腔內(nèi)部的電加熱絲,和法蘭Ⅱ中間用墊片Ⅱ密封,在下端用螺母拉緊,進(jìn)而保證密封性;進(jìn)而將電加熱接頭放在了腔體外面,脫離高溫環(huán)境,解決了密封膠熔化導(dǎo)致電加熱絲短路的問題。??