周期柵陣的周期長(zhǎng)度的測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010952617.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112050741A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112050741A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類(lèi)號(hào) G01B11/02 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 李紅浪 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東廣納芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 鄧曄;張?chǎng)?/td>
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開(kāi)源大道136號(hào)D棟1004室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于對(duì)周期陣列結(jié)構(gòu)中的周期柵陣進(jìn)行測(cè)量的測(cè)量方法，包括：獲取所述周期陣列結(jié)構(gòu)的圖像并獲取所述圖像的像素間距值；在所述圖像上繪制覆蓋多個(gè)所述周期柵陣的測(cè)量線(xiàn)；確定所述測(cè)量線(xiàn)上至少一部分像素的坐標(biāo)值和圖像特征值、以及所述測(cè)量線(xiàn)的斜率；利用所述坐標(biāo)值和所述圖像特征值，利用擬合函數(shù)來(lái)計(jì)算得到所述測(cè)量線(xiàn)的空間圓頻率；利用所述像素間距值和所述空間圓頻率，來(lái)計(jì)算得到所述測(cè)量線(xiàn)的延伸方向上的測(cè)量線(xiàn)周期長(zhǎng)度；以及基于所述測(cè)量線(xiàn)的斜率、以及所述測(cè)量線(xiàn)周期長(zhǎng)度來(lái)計(jì)算所述周期柵陣的實(shí)際周期長(zhǎng)度。