周期柵陣的周期長度的測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010952617.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112050741B 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN112050741B 申請公布日 2021-07-16
分類號 G01B11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李紅浪 申請（專利權(quán)）人 廣東廣納芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 鄧曄;張鑫
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號D棟1004室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于對周期陣列結(jié)構(gòu)中的周期柵陣進(jìn)行測量的測量方法，包括：獲取所述周期陣列結(jié)構(gòu)的圖像并獲取所述圖像的像素間距值；在所述圖像上繪制覆蓋多個所述周期柵陣的測量線；確定所述測量線上至少一部分像素的坐標(biāo)值和圖像特征值、以及所述測量線的斜率；利用所述坐標(biāo)值和所述圖像特征值，利用擬合函數(shù)來計(jì)算得到所述測量線的空間圓頻率；利用所述像素間距值和所述空間圓頻率，來計(jì)算得到所述測量線的延伸方向上的測量線周期長度；以及基于所述測量線的斜率、以及所述測量線周期長度來計(jì)算所述周期柵陣的實(shí)際周期長度。