一種蘭姆波諧振器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011112294.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112260658A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN112260658A 申請公布日 2021-08-06
分類號 H03H9/02;H03H9/25;H03H3/08 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李紅浪;許欣 申請（專利權(quán)）人 廣東廣納芯科技有限公司
代理機構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 鄧曄;張鑫
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號D棟1004室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種蘭姆波諧振器及其制造方法，其特征在于，該蘭姆波諧振器包括：襯底，該襯底具有高聲阻抗；壓電層，該壓電層上形成有電極和匯流條，以及金屬層，所述金屬層設(shè)置在所述壓電層和所述襯底之間，并且相對于所述襯底具有低聲阻抗，其中，在所述壓電層的上表面形成有沿所述電極的長度方向延伸的槽。