一種超薄氮化鎵肖特基二極管材料結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111630619.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114335194A 公開（公告）日 2022-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN114335194A 申請(qǐng)公布日 2022-04-12
分類號(hào) H01L29/872（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C16/30（2006.01）I;C23C28/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王新強(qiáng);王琦;梁智文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京大學(xué)東莞光電研究院
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 俱玉云
地址 523000廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)沁園路17號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種超薄氮化鎵肖特基二極管材料結(jié)構(gòu)，包括襯底材料層、氮化鋁薄膜層、N型氮化鎵薄膜層、金屬歐姆接觸層和金屬肖特基接觸層；其中所述襯底材料層頂側(cè)設(shè)置有氮化鋁薄膜層，所述氮化鋁薄膜層頂側(cè)設(shè)置有N型氮化鎵薄膜層，所述N型氮化鎵薄膜層右端頂側(cè)設(shè)置有金屬歐姆接觸層，與其對(duì)應(yīng)的所述N型氮化鎵薄膜層左端頂側(cè)設(shè)置有金屬肖特基接觸層。該種超薄氮化鎵肖特基二極管材料結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡單，解決現(xiàn)有氮化鎵上材料器件可靠性問題，可以實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量高耐壓肖特基二極管，可以有效避免傳統(tǒng)器件材料的緩沖層及摻雜層，直接通過氮化薄膜鋁層把器件功能層與襯底材料層結(jié)合在一起，實(shí)現(xiàn)低成本，低應(yīng)力，高均勻性的器件材料。