用于調(diào)控晶圓外延生長(zhǎng)均勻性的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111629561.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114318524A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN114318524A 申請(qǐng)公布日 2022-04-12
分類號(hào) C30B25/08（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B25/16（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 謝勝杰;劉南柳;姜永京;陳俊成;王琦;張國(guó)義 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京大學(xué)東莞光電研究院
代理機(jī)構(gòu) 東莞恒成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 姚偉旗
地址 523000廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)沁園路17號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于調(diào)控晶圓外延生長(zhǎng)均勻性的裝置及方法，該用于調(diào)控晶圓外延生長(zhǎng)均勻性的裝置包括加熱爐、托盤、支撐桿、溫度傳感器、引線及溫度控制模塊，托盤與支撐桿均安裝于加熱爐內(nèi)，托盤用于放置生長(zhǎng)晶圓或測(cè)溫晶圓，支撐桿連接托盤，支撐桿用于驅(qū)動(dòng)托盤轉(zhuǎn)動(dòng)；溫度傳感器安裝于托盤上，引線的一端連接溫度傳感器，另一端連接溫度控制模塊，引線穿設(shè)支撐桿，并用粘接劑密封；工作時(shí)，生長(zhǎng)晶圓或測(cè)溫晶圓用于放置于溫度傳感器上。本裝置通過(guò)溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生長(zhǎng)晶圓或測(cè)溫晶圓的表面溫度，且將監(jiān)測(cè)的溫度在線反饋至溫度控制模塊進(jìn)行控溫，測(cè)溫和控溫精確，確保調(diào)控晶圓外延生長(zhǎng)的均勻性，實(shí)現(xiàn)大尺寸晶圓生長(zhǎng)的一致性。