一種多功能鋁和氧化鋁結(jié)構(gòu)及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711131411.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107833874A 公開（公告）日 2018-03-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN107833874A 申請(qǐng)公布日 2018-03-23
分類號(hào) H01L23/535;H01L21/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 薛維平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海芯石微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201605 上海市松江區(qū)新浜鎮(zhèn)香長(zhǎng)公路1960號(hào)102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明適用于鋁金屬引線的半導(dǎo)體器件，常規(guī)器件制造工藝需要3步光刻才能完成引線孔、金屬布線及鈍化，此發(fā)明利用光刻、注入技術(shù)對(duì)鋁金屬層做局部氧化，只用1步光刻，就能完成常規(guī)工藝需要3步光刻才能完成的引線孔、金屬布線及鈍化，大幅度降低半導(dǎo)體器件生產(chǎn)成本，提高成品率，且氧化鋁材料致密，化學(xué)穩(wěn)定性極好，提高了器件可靠性。