一種薄膜器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020393131.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213232020U 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN213232020U 申請公布日 2021-05-18
分類號 C03C17/36;C03C27/12;B32B17/10 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 四川猛犸半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 廈門市精誠新創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 方惠春
地址 644000 四川省宜賓市臨港經(jīng)開區(qū)長江北路西段附三段17號企業(yè)服務(wù)中心731室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種薄膜器件，包括依次層疊的基板、膜層組件、頂層電介質(zhì)膜層和保護膜層，膜層組件包括沿基板向外依次層疊的電介質(zhì)膜層、銀膜層和犧牲膜層，或膜層組件包括沿基板向外依次層疊的電介質(zhì)膜層、犧牲膜層和銀膜層，膜層組件還包括BiMg膜層和AgZr膜層，BiMg膜層和AgZr膜層層疊在銀膜層與犧牲膜層之間或銀膜層與電介質(zhì)膜層之間；或BiMg膜層和AgZr膜層層疊在銀膜層與犧牲膜層之間，同時BiMg膜層和/或AgZr膜層層疊在銀膜層與電介質(zhì)膜層之間。本實用新型可以提高膜系在高溫熱處理的穩(wěn)定性，又可提高該薄膜器件的化學穩(wěn)定性和改善其機械性能，且具有高的可見光透過率、低的電阻。