一種薄膜器件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020392518.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212770485U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212770485U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | C03C27/12(2006.01)I;B32B17/10(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I | 分類(lèi) | 玻璃；礦棉或渣棉; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 四川猛犸半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門(mén)市精誠(chéng)新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 方惠春 |
| 地址 | 644000四川省宜賓市臨港經(jīng)開(kāi)區(qū)長(zhǎng)江北路西段附三段17號(hào)企業(yè)服務(wù)中心731室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種薄膜器件，包括依次層疊的基板、底層電介質(zhì)膜層、膜層組件和保護(hù)膜層，所述膜層組件包括沿基板向外依次層疊的銀膜層、TiNiGaOx膜層和電介質(zhì)膜層；或所述膜層組件包括沿基板向外依次層疊的TiNiGaOx膜層、銀膜層、TiNiGaOx膜層和電介質(zhì)膜層，所述TiNiGaOx膜層中Ni與Ga原子數(shù)量比大于1：4，x≥0。本實(shí)用新型可以提高膜系在高溫?zé)崽幚淼姆€(wěn)定性，又可提高該薄膜器件的化學(xué)穩(wěn)定性和改善其機(jī)械性能，且具有高的可見(jiàn)光透過(guò)率、低的電阻。?? |
