一種薄膜器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020392518.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212770485U 公開（公告）日 2021-03-23
申請公布號 CN212770485U 申請公布日 2021-03-23
分類號 C03C27/12(2006.01)I;B32B17/10(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 四川猛犸半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門市精誠新創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 方惠春
地址 644000四川省宜賓市臨港經(jīng)開區(qū)長江北路西段附三段17號企業(yè)服務(wù)中心731室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種薄膜器件，包括依次層疊的基板、底層電介質(zhì)膜層、膜層組件和保護(hù)膜層，所述膜層組件包括沿基板向外依次層疊的銀膜層、TiNiGaOx膜層和電介質(zhì)膜層；或所述膜層組件包括沿基板向外依次層疊的TiNiGaOx膜層、銀膜層、TiNiGaOx膜層和電介質(zhì)膜層，所述TiNiGaOx膜層中Ni與Ga原子數(shù)量比大于1：4，x≥0。本實用新型可以提高膜系在高溫?zé)崽幚淼姆€(wěn)定性，又可提高該薄膜器件的化學(xué)穩(wěn)定性和改善其機(jī)械性能，且具有高的可見光透過率、低的電阻。??