一種薄膜器件
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020392034.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212770483U | 公開（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請公布號 | CN212770483U | 申請公布日 | 2021-03-23 |
| 分類號 | C03C27/12(2006.01)I;B32B17/10(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I | 分類 | 玻璃；礦棉或渣棉; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請（專利權(quán)）人 | 四川猛犸半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門市精誠新創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 方惠春 |
| 地址 | 644000四川省宜賓市臨港經(jīng)開區(qū)長江北路西段附三段17號企業(yè)服務(wù)中心731室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種薄膜器件，包括依次向上層疊的基板、膜層組件、頂層電介質(zhì)膜層和保護(hù)膜層，膜層組件包括沿基板向上依次層疊的電介質(zhì)膜層、銀膜層和犧牲膜層，或電介質(zhì)膜層、犧牲膜層和銀膜層，膜層組件還包括鋅錫氧化物膜層和AgTi膜層，鋅錫氧化物膜層和AgTi膜層層疊在犧牲膜層上面；或鋅錫氧化物膜層和AgTi膜層層疊在銀膜層與電介質(zhì)膜層之間；或鋅錫氧化物膜層和AgTi膜層層疊在犧牲膜層上面，同時(shí)鋅錫氧化物膜層和/或AgTi膜層還層疊在銀膜層與電介質(zhì)膜層之間。本實(shí)用新型可以提高膜系在高溫?zé)崽幚淼姆€(wěn)定性，又可提高該薄膜器件的化學(xué)穩(wěn)定性和改善其機(jī)械性能。?? |
