一種用于高次非球面檢測的補償器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111020463.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113900166A 公開（公告）日 2022-01-07
申請公布號 CN113900166A 申請公布日 2022-01-07
分類號 G02B3/06（2006.01）I;G02B3/04（2006.01）I;G02B27/00（2006.01）I;G01M11/02（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 孟夢;蔣泉權;劉國淦 申請（專利權）人 上海現(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司
代理機構 上海申浩律師事務所 代理人 李陽
地址 201209上海市浦東新區(qū)民風路396號4幢1層、3層301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于高次非球面檢測的補償器，所述補償器的主體為單個的透鏡，所述透鏡的側面為圓柱面，所述透鏡一側的入光面為內凹的拋光高次非球面，該入光面采用標準非球面方程表述的c值略小于待測非球面表述的c值且入光面的非球面度小于待測非球面；所述拋光高次非球面的光軸呈旋轉對稱結構，所述透鏡另一側的出光面為與側面垂直的拋光平面。本發(fā)明的有益效果是易于加工，與傳統(tǒng)球面透鏡組形式的補償器相比，減少了補償器所需透鏡的數量，節(jié)約了成本，避免了透鏡組復雜的機械裝配過程，能夠縮短加工工期。