一種單晶爐用導(dǎo)氣筒及單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122613311.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216074088U 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN216074088U 申請公布日 2022-03-18
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 馬新成;秦樂;蔡旭;李晶;劉文濤;丁天璞 申請（專利權(quán)）人 阿特斯陽光電力集團股份有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 汪莉萍
地址 014000內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市青山區(qū)110國道666公里處包頭裝備制造產(chǎn)業(yè)園區(qū)管委會B座502室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種單晶爐用導(dǎo)氣筒及單晶爐，該單晶爐用導(dǎo)氣筒包括導(dǎo)氣筒本體，導(dǎo)氣筒本體包括第二通道、設(shè)置于第二通道兩端的第一通道以及連接于第一通道的第三通道，第一通道、第三通道均與第二通道相連通且同軸設(shè)置；第一通道的內(nèi)徑沿靠近第二通道的方向逐漸減小，第一通道的內(nèi)壁與第一通道的中心線之間的夾角為30度?70度；第二通道的內(nèi)徑與第一通道中的最小的內(nèi)徑相同，第三通道的內(nèi)徑與第一通道中的最大的內(nèi)徑相同，任一第三通道能與單晶爐內(nèi)部連通。上述設(shè)置可以延長對單晶爐用導(dǎo)氣筒本體內(nèi)部進行清理的周期，能夠?qū)崿F(xiàn)較長周期的工作。