晶圓裝片用涂膠裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202111470826.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114273143A | 公開（公告）日 | 2022-04-05 |
| 申請公布號(hào) | CN114273143A | 申請公布日 | 2022-04-05 |
| 分類號(hào) | B05C1/08（2006.01）I | 分類 | 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 李堯 | 申請（專利權(quán)）人 | 中科芯（蘇州）微電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州根號(hào)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 仇波 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城1幢505、507 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓裝片用涂膠裝置，其包括用于放置硅片的臺(tái)面、安裝于所述臺(tái)面上方的涂膠機(jī)構(gòu)，所述涂膠機(jī)構(gòu)包括涂膠頭、涂膠框體、橫向絲桿組件、縱向絲桿組件、以及帶動(dòng)所述涂膠頭轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述涂膠頭的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線垂直所述臺(tái)面，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括樞軸連接的外套管和內(nèi)套管、固定安裝于所述外套管上且與所述內(nèi)套管相傳動(dòng)連接的第一電機(jī)、固定于所述內(nèi)套管軸心上的輸出軸、連接于所述內(nèi)套管外周面與所述外套管內(nèi)周面之間的第一軸承以及光柵刻度儀。利用安裝在內(nèi)套管和外套管之間的光柵刻度儀實(shí)現(xiàn)內(nèi)套管和外套管之間轉(zhuǎn)動(dòng)角度的精準(zhǔn)控制，從而實(shí)現(xiàn)涂膠頭旋轉(zhuǎn)角度的精準(zhǔn)控制，進(jìn)而保證了涂膠的均勻性，電機(jī)與輸出軸設(shè)于外套管的同一側(cè)有效的節(jié)省了轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)所占的空間，使整個(gè)結(jié)構(gòu)更為緊湊。 |
