晶圓裝片用涂膠裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111470826.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114273143A 公開（公告）日 2022-04-05
申請公布號 CN114273143A 申請公布日 2022-04-05
分類號 B05C1/08（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 李堯 申請（專利權(quán)）人 中科芯（蘇州）微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州根號專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 仇波
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城1幢505、507
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓裝片用涂膠裝置，其包括用于放置硅片的臺面、安裝于所述臺面上方的涂膠機構(gòu)，所述涂膠機構(gòu)包括涂膠頭、涂膠框體、橫向絲桿組件、縱向絲桿組件、以及帶動所述涂膠頭轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動機構(gòu)，所述涂膠頭的轉(zhuǎn)動軸線垂直所述臺面，所述轉(zhuǎn)動機構(gòu)包括樞軸連接的外套管和內(nèi)套管、固定安裝于所述外套管上且與所述內(nèi)套管相傳動連接的第一電機、固定于所述內(nèi)套管軸心上的輸出軸、連接于所述內(nèi)套管外周面與所述外套管內(nèi)周面之間的第一軸承以及光柵刻度儀。利用安裝在內(nèi)套管和外套管之間的光柵刻度儀實現(xiàn)內(nèi)套管和外套管之間轉(zhuǎn)動角度的精準控制，從而實現(xiàn)涂膠頭旋轉(zhuǎn)角度的精準控制，進而保證了涂膠的均勻性，電機與輸出軸設(shè)于外套管的同一側(cè)有效的節(jié)省了轉(zhuǎn)動機構(gòu)所占的空間，使整個結(jié)構(gòu)更為緊湊。