一種基于CELL的邊緣缺陷檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110737272.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113409295A 公開（公告）日 2021-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN113409295A 申請(qǐng)公布日 2021-09-17
分類號(hào) G06T7/00（2017.01）I;G06T7/11（2017.01）I;G06T7/13（2017.01）I;G06T5/00（2006.01）I;G06T3/60（2006.01）I;G06N3/04（2006.01）I;G06N3/08（2006.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 陳晨;陶平;張蓮蓮;靳松;田永軍;李偉;陳永超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京兆維電子（集團(tuán)）有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙秀斌
地址 100015北京市朝陽區(qū)酒仙橋路14號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于CELL的邊緣缺陷檢測(cè)方法，包括：收集歷史檢測(cè)CELL產(chǎn)品累積的數(shù)據(jù)樣本，得到數(shù)據(jù)標(biāo)注樣本；將數(shù)據(jù)標(biāo)注樣本輸入深度卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)中進(jìn)行模型訓(xùn)練，訓(xùn)練出一個(gè)穩(wěn)定收斂的分割模型；捕捉待測(cè)CELL產(chǎn)品的產(chǎn)品圖像，通過分割模型分割出產(chǎn)品圖像中的缺陷坐標(biāo)位置和mark坐標(biāo)位置，將缺陷坐標(biāo)位置輸出；調(diào)取待測(cè)CELL產(chǎn)品的產(chǎn)品圖像，將有限個(gè)邊緣點(diǎn)進(jìn)行直線擬合，分別得到水平擬合線和垂直擬合線；根據(jù)mark坐標(biāo)位置，分別對(duì)擬合出來的水平擬合線和垂直擬合線進(jìn)行間距測(cè)量，得到間距參數(shù)輸出。本發(fā)明建立了分割模型，能夠?qū)斎氲漠a(chǎn)品圖像中的缺陷進(jìn)行分割，能夠同步對(duì)CELL產(chǎn)品的缺陷以及邊距進(jìn)行測(cè)量，提升檢測(cè)效率，缺陷和邊距檢測(cè)精度高。