一種用于弧周缺陷檢測(cè)的顯微光學(xué)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110704926.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113340911A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN113340911A 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) G01N21/89（2006.01）I;G01N21/892（2006.01）I;G02B21/36（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王馨瑩;李偉;劉欣;孟鵬飛;王福旺;李立鋒;宋思儒;林濤;陶平;田永軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京兆維電子（集團(tuán)）有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱曉彤
地址 100015北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋路14號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于弧周缺陷檢測(cè)的顯微光學(xué)系統(tǒng)，包括驅(qū)動(dòng)單元、成像旋轉(zhuǎn)單元和無(wú)限遠(yuǎn)成像單元，驅(qū)動(dòng)單元固定設(shè)置，用于帶動(dòng)待檢測(cè)的產(chǎn)品繞豎直設(shè)置的軸水平轉(zhuǎn)動(dòng)，成像旋轉(zhuǎn)單元和無(wú)限遠(yuǎn)成像單元架設(shè)在驅(qū)動(dòng)單元的上方；無(wú)限遠(yuǎn)成像單元對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行成像，成像旋轉(zhuǎn)單元用于在產(chǎn)品成像時(shí)旋轉(zhuǎn)圖像。本發(fā)明的有益效果是實(shí)現(xiàn)孔區(qū)弧周缺陷檢測(cè)，同時(shí)克服矩形視野采集弧形目標(biāo)時(shí)檢測(cè)區(qū)域位置大小、重復(fù)區(qū)域不固定的缺點(diǎn)，光學(xué)檢測(cè)的效率大大提高，且檢測(cè)更為全面，檢測(cè)的效果較佳。