一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制造方法與應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110798123.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113258443B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113258443B 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) H01S5/183（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李輝杰;李含軒;李善文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州縱慧芯光半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 林凡燕
地址 213000江蘇省常州市武進(jìn)國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)鳳翔路7號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制造方法與應(yīng)用，包括：襯底；第一反射層，設(shè)置在所述襯底上；有源層，設(shè)置在所述第一反射層上，用于發(fā)射激光束；第二反射層，設(shè)置在所述有源層上；其中，所述第二反射層中至少包括一光學(xué)散射層，所述激光束經(jīng)過(guò)所述光學(xué)散射層形成遠(yuǎn)場(chǎng)光斑，所述光學(xué)散射層將邊緣的所述激光束散射至所述遠(yuǎn)場(chǎng)光斑的中心區(qū)域內(nèi)；其中，所述光學(xué)散射層上包括光學(xué)散射粒子，所述光學(xué)散射粒子包括起伏的界面；其中，所述光學(xué)散射層的粗糙度大于所述第一反射層的粗糙度。本發(fā)明提出的垂直腔面發(fā)射激光器可以獲得能量分布均勻的遠(yuǎn)場(chǎng)光斑。