一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110728999.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113451884A 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113451884A 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) H01S5/183（2006.01）I;H01S5/14（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 寇君龍;饒志龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州縱慧芯光半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 蘇舒音
地址 213000江蘇省常州市武進(jìn)國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)鳳翔路7號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制備方法，包括激光器諧振腔結(jié)構(gòu)；激光器諧振腔結(jié)構(gòu)包括疊層設(shè)置的激光腔、襯底和外腔諧振腔；沿激光光束的出射方向，垂直腔面發(fā)射激光器的有效腔長(zhǎng)包括激光腔的厚度、襯底的厚度和外腔諧振腔的厚度；激光光束的出射方向與襯底指向外腔諧振腔的方向平行。解決了現(xiàn)有技術(shù)中垂直腔面發(fā)射激光器的腔長(zhǎng)較短，光譜線寬較大，影響激光器的器件性能和穩(wěn)定性，難以滿足垂直腔面發(fā)射激光器的窄線寬應(yīng)用要求的技術(shù)問題。