微機電系統(tǒng)MEMS麥克風(fēng)芯片及MEMS麥克風(fēng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120343615.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214205841U 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN214205841U 申請公布日 2021-09-14
分類號 H04R19/04 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 張彥秀;金文盛;陳兆震;王乾;韋仕貢 申請（專利權(quán)）人 北京燕東微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京新知遠方知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馬軍芳;張艷
地址 100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號1幢4層4D15
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例提供了一種微機電系統(tǒng)MEMS麥克風(fēng)芯片及MEMS麥克風(fēng)，涉及MEMS麥克風(fēng)技術(shù)領(lǐng)域。MEMS麥克風(fēng)芯片包括：基板，基板具有聲腔；振動電極板，振動電極板設(shè)置在基板的一側(cè)，振動電極板遮蓋聲腔；背極板；其中，振動電極板具有朝向基板的第一表面及背離基板的第二表面，第一表面包括與聲腔相對的第一區(qū)域以及環(huán)繞第一區(qū)域的第二區(qū)域，第一區(qū)域設(shè)置有朝向基板延伸的第一凸起部，第一凸起部靠近第一區(qū)域的邊緣設(shè)置；振動電極板的第二表面設(shè)置有朝向基板凹陷的第一凹陷部，第一凹陷部與第一凸起部對應(yīng)設(shè)置。本申請實施例解決了傳統(tǒng)的MEMS麥克風(fēng)芯片因振動電極板的有效振動領(lǐng)域較小所導(dǎo)致的靈敏度不高的問題。