微機(jī)電系統(tǒng)MEMS麥克風(fēng)芯片及MEMS麥克風(fēng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120343637.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214177567U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN214177567U 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) H04R19/04（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 張彥秀;金文盛;陳兆震;王乾;韋仕貢 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京燕東微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京新知遠(yuǎn)方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馬軍芳;張艷
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)1幢4層4D15
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種微機(jī)電系統(tǒng)MEMS麥克風(fēng)芯片及MEMS麥克風(fēng)，涉及MEMS麥克風(fēng)技術(shù)領(lǐng)域。MEMS麥克風(fēng)芯片包括：基板，基板具有聲腔；振動(dòng)電極板和背極板，設(shè)置在基板的同一側(cè)，且振動(dòng)電極板罩蓋聲腔；其中，振動(dòng)電極板具有朝向基板的第一表面及背離基板的第二表面；第二表面包括與聲腔相對(duì)應(yīng)的第一區(qū)域以及圍繞第一區(qū)域的第二區(qū)域；第一區(qū)域設(shè)置有背離基板延伸的多個(gè)第一凸起部，第二區(qū)域設(shè)置有貫穿振動(dòng)電極板的排氣孔；第一表面設(shè)置有背離基板凹陷的第一凹陷部，第一凹陷部與第一凸起部對(duì)應(yīng)設(shè)置。本申請(qǐng)實(shí)施例解決了傳統(tǒng)的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)芯片的振動(dòng)電極板的振動(dòng)電極板的靈敏度較低、信噪比較低的技術(shù)問(wèn)題。