一種電橋結(jié)構(gòu)的紅外溫度傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910107270.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101881668A 公開（公告）日 2010-11-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN101881668A 申請(qǐng)公布日 2010-11-10
分類號(hào) G01J5/24(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 蔡毅;王宏臣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 世紀(jì)晶源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518107 廣東省深圳市光明新區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地世紀(jì)晶源
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種電橋結(jié)構(gòu)的紅外溫度傳感器，包括襯底上的電阻器電橋，該電阻器電橋包括光敏電阻、環(huán)境參考電阻和焦耳熱參考電阻，其中：在所述的光敏電阻和焦耳熱參考電阻下邊的襯底設(shè)置有凹槽，該凹槽與其上的電阻形成懸浮橋式結(jié)構(gòu)；本發(fā)明在光敏電阻和焦耳熱參考電阻下邊的襯底上設(shè)置凹槽，凹槽內(nèi)的空氣形成熱絕緣層，減小了傳感器敏感區(qū)與襯底間的熱傳導(dǎo)，提高了目標(biāo)溫度測(cè)量的精確度，其次，傳感器熱敏材料選用高電阻溫度系數(shù)的氧化釩薄膜，也有利于提高器件的測(cè)溫準(zhǔn)確性。