一種空氣絕熱薄膜式紅外傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910107271.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101881664A 公開（公告）日 2010-11-10
申請公布號 CN101881664A 申請公布日 2010-11-10
分類號 G01J5/00(2006.01)I;G01J5/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王宏臣;展恩榮 申請（專利權(quán)）人 世紀(jì)晶源科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518107 廣東省深圳市光明新區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地世紀(jì)晶源
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及紅外傳感器領(lǐng)域，提供一種空氣絕熱薄膜式紅外傳感器，包括硅襯底及其上的傳感光敏區(qū)，該傳感光敏區(qū)包括支撐層、上下電極、熱釋電薄膜、鈍化層和紅外吸收層，其中：所述的硅襯底上形成有空腔，該空腔內(nèi)的空氣形成絕熱層，空腔上放置有橋腿，所述的光敏傳感區(qū)通過橋腿支撐懸浮在空腔之上。本發(fā)明通過在襯底上形成空腔，該空腔上設(shè)置橋腿，所述的傳感器光敏區(qū)通過該橋腿懸浮支撐在空腔之上，從而光敏區(qū)與襯底不是直接接觸，而是以空腔里的空氣作為絕熱層，使傳感器與襯底間的熱損失小，提高傳感器的靈敏度，非常適用于高靈敏度的紅外線探測領(lǐng)域。