一種分子泵調(diào)試臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520120377.0 申請日 -
公開（公告）號 CN204646743U 公開（公告）日 2015-09-16
申請公布號 CN204646743U 申請公布日 2015-09-16
分類號 F04D27/00(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 朱秀明;王燕;翟曉燁;施琦 申請（專利權(quán)）人 北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責任公司
代理機構(gòu) 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭立明;陳亮
地址 102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種分子泵調(diào)試臺，所述調(diào)試臺由多個調(diào)試臺單元組合，每個調(diào)試臺單元均包括有機架、分子泵電源、真空計、控制面板以及排氣系統(tǒng)，所述機架上放置兩臺待調(diào)試分子泵，所述分子泵電源、真空計及控制面板置于所述機架的后側(cè)上方；所述排氣系統(tǒng)的排氣管引向所述機架的后側(cè)，固定在后側(cè)的梁上；每個調(diào)試臺單元的排氣系統(tǒng)連接到共同的前級機械泵上，且所述排氣系統(tǒng)的排氣管連接到總排氣管道上。利用該分子泵調(diào)試臺能夠優(yōu)化操作流程，節(jié)約調(diào)試成本，實現(xiàn)更安全和集中的控制。