一種分子泵調(diào)試臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520120377.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204646743U 公開(kāi)（公告）日 2015-09-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN204646743U 申請(qǐng)公布日 2015-09-16
分類(lèi)號(hào) F04D27/00(2006.01)I 分類(lèi) 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 朱秀明;王燕;翟曉燁;施琦 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭立明;陳亮
地址 102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種分子泵調(diào)試臺(tái)，所述調(diào)試臺(tái)由多個(gè)調(diào)試臺(tái)單元組合，每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元均包括有機(jī)架、分子泵電源、真空計(jì)、控制面板以及排氣系統(tǒng)，所述機(jī)架上放置兩臺(tái)待調(diào)試分子泵，所述分子泵電源、真空計(jì)及控制面板置于所述機(jī)架的后側(cè)上方；所述排氣系統(tǒng)的排氣管引向所述機(jī)架的后側(cè)，固定在后側(cè)的梁上；每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的排氣系統(tǒng)連接到共同的前級(jí)機(jī)械泵上，且所述排氣系統(tǒng)的排氣管連接到總排氣管道上。利用該分子泵調(diào)試臺(tái)能夠優(yōu)化操作流程，節(jié)約調(diào)試成本，實(shí)現(xiàn)更安全和集中的控制。