一種硅片拋光用廢料回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920145132.1 申請日 -
公開（公告）號 CN209598923U 公開（公告）日 2019-11-08
申請公布號 CN209598923U 申請公布日 2019-11-08
分類號 B24B29/02（2006.01）I; B24B55/12（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 張俊杰 申請（專利權）人 上海合晶硅材料股份有限公司
代理機構 上海灣谷知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 上海合晶硅材料有限公司;上海合晶硅材料股份有限公司
地址 201617 上海市松江區(qū)貴南路500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片拋光用廢料回收裝置，包括設備撐架、廢料筒、集料漏斗和排廢漏斗，設備撐架的中部螺絲固定有廢料筒，廢料筒的上方設有集料漏斗，廢料筒與集料漏斗之間連接有頸管，頸管內(nèi)設有空腔，空腔內(nèi)設有撥料盤，頸管通過轉(zhuǎn)軸與撥料盤轉(zhuǎn)動連接，頸管的外側(cè)螺絲固定有伺服電機，伺服電機的輸出端穿過頸管外壁與撥料盤焊接，撥料盤的曲面上等距分布有四個凹槽，本實用新型通過設置風管、離子風機和廢料筒，可在裝置內(nèi)部形成旋風，氣流沿廢料筒內(nèi)壁旋轉(zhuǎn)上升，正負電荷可消除廢料筒內(nèi)壁的靜電，使得拋光碎屑不會粘附在廢料筒內(nèi)壁上，多個泄壓管可有效將高壓氣體排出，泄壓管管口遠離廢料筒內(nèi)壁，可避免拋光廢料被離心力甩出。