一種單晶硅生產(chǎn)用分選裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920145956.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209759641U 公開（公告）日 2019-12-10
申請公布號 CN209759641U 申請公布日 2019-12-10
分類號 C30B29/06（2006.01）; C30B35/00（2006.01）; G01B5/06（2006.01） 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 施斌 申請（專利權(quán)）人 上海合晶硅材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海灣谷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海合晶硅材料有限公司;上海合晶硅材料股份有限公司
地址 201617 上海市松江區(qū)貴南路500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種單晶硅生產(chǎn)用分選裝置，包括分選臺、蓋板和測量殼，分選臺下表面兩端均固定連接有支腳，分選臺上表面中間垂直固定連接有凹字型梯形柱，凹字型梯形柱頂端通過銷軸活動(dòng)連接有第一半齒輪，第一半齒輪位于非齒形端固定連接有連接桿，連接桿遠(yuǎn)離第一半齒輪一端固定連接有耐磨手柄，本實(shí)用新型的有益效果是：通過將形狀和大小一致的單晶硅片放置在放置板上，利用兩個(gè)半齒輪嚙合運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)蓋板的下壓，由于測量殼內(nèi)的頂桿底端與蓋板下表面處于同一平面，所以可利用測厚板上升的高度直接就能測出單晶硅片的厚度，測量手段簡單，分選合理，而且手動(dòng)測量比較準(zhǔn)確，且不易損傷單晶硅片。