一種硅片夾持機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920145958.8 申請日 -
公開（公告）號 CN209599036U 公開（公告）日 2019-11-08
申請公布號 CN209599036U 申請公布日 2019-11-08
分類號 B25B11/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 丁斌 申請（專利權(quán)）人 上海合晶硅材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海灣谷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海合晶硅材料有限公司;上海合晶硅材料股份有限公司
地址 201617 上海市松江區(qū)貴南路500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片夾持機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動箱、中心轉(zhuǎn)桿和頂塊，驅(qū)動箱內(nèi)設(shè)有中心轉(zhuǎn)桿，驅(qū)動箱通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接有中心轉(zhuǎn)桿，中心轉(zhuǎn)桿的一端穿過驅(qū)動箱轉(zhuǎn)動連接有頂塊，頂塊的四個側(cè)邊分別焊接有一個滑桿，四個滑桿分別套接有一個滑套，滑套的上側(cè)均焊接有夾板，滑套的下側(cè)均焊接有圓桿，本實(shí)用新型通過設(shè)置驅(qū)動齒輪、從動齒輪、一號驅(qū)動桿和二號驅(qū)動桿，單次可驅(qū)動中心轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動恒定角度，可同時縮短四個夾板與頂塊之間的距離，可從硅片四個側(cè)邊將硅片夾緊，固定效果極好，方便了硅片的加工流程，且驅(qū)動齒輪螺絲固定在伺服電機(jī)的輸出端，更換不同嚙齒長度的驅(qū)動齒輪可改變夾持尺寸。