一種薄膜晶體管制作方法、系統(tǒng)及薄膜晶體管

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410424006.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104183502A 公開（公告）日 2014-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN104183502A 申請(qǐng)公布日 2014-12-03
分類號(hào) H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;G02F1/167(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王金科;劉丹軍;包順 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南普照愛伯樂平板顯示器件有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 湖南普照愛伯樂平板顯示器件有限公司;湖南電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司
地址 410205 湖南省長(zhǎng)沙市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)麓楓路40號(hào)園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種薄膜晶體管制作方法、系統(tǒng)及薄膜晶體管，通過在驅(qū)動(dòng)基板上分別形成掃描線路層、絕緣層、氧化物半導(dǎo)體層及數(shù)據(jù)線路層，將掃描線路層上的掃描線路的一端、絕緣層以及數(shù)據(jù)線路層的轉(zhuǎn)接線的一端熔融在一起，使掃描線路層的掃描線路與轉(zhuǎn)接線連通，并將與掃描線路熔融后的轉(zhuǎn)接線的另一端與驅(qū)動(dòng)基板的控制器連接，實(shí)現(xiàn)了掃描線路與控制器的連接，并且，無需專門打孔即可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)接線通過絕緣層，并使掃描線路、絕緣層、轉(zhuǎn)接線熔融在一起，使得工藝簡(jiǎn)單，并節(jié)約了成本。