一種薄膜晶體管制作方法、系統(tǒng)及薄膜晶體管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410423967.0 申請日 -
公開（公告）號 CN104183501A 公開（公告）日 2014-12-03
申請公布號 CN104183501A 申請公布日 2014-12-03
分類號 H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王金科;劉丹軍 申請（專利權）人 湖南普照愛伯樂平板顯示器件有限公司
代理機構 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 湖南普照愛伯樂平板顯示器件有限公司;湖南電子信息產(chǎn)業(yè)集團有限公司
地址 410205 湖南省長沙市高新技術開發(fā)區(qū)麓楓路40號園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種薄膜晶體管制作方法、系統(tǒng)及薄膜晶體管，通過在驅動基板上分別形成掃描線路層、絕緣層、數(shù)據(jù)線路層，而在數(shù)據(jù)線路層與絕緣層之間的氧化物半導體層，在與柵電極圖像豎直位置相對應的氧化物半導體層上用有機材料采用涂覆、曝光、顯影工藝制作圖形，形成蝕刻阻擋層，在蝕刻阻擋層兩側的氧化物半導體層上制作源電極、漏電極、數(shù)據(jù)線路。本方案通過采用有機材料制作蝕刻阻擋層，工藝簡單，制作過程方便，解決了現(xiàn)有技術中采用鍍膜的方式形成蝕刻阻擋層帶來的工藝復雜，不易實現(xiàn)的問題。