一種改善平板顯示器感光材料信賴性的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010100322.5 申請日 -
公開（公告）號 CN101762989B 公開（公告）日 2013-03-20
申請公布號 CN101762989B 申請公布日 2013-03-20
分類號 G03F7/20(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 林榮豐;詹國華;韓榮敏;滕術(shù)軍;王載忠;王金科 申請（專利權(quán)）人 湖南普照愛伯樂平板顯示器件有限公司
代理機構(gòu) 長沙新裕知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 湖南普照愛伯樂平板顯示器件有限公司;湖南電子信息產(chǎn)業(yè)集團有限公司
地址 410205 湖南省長沙市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)(麓谷)麓楓路40號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種改善平板顯示器感光材料信賴性的方法，采用黃光光刻工藝在基板上制作感光材料膜層，包括涂膠、曝光、顯影、固化步驟，其特征在于所述涂膠步驟中，形成的感光材料膜層厚為0.5-20um；曝光步驟中的曝光量至少為250mj/cm2。本發(fā)明方法可極大地提高感光材料在基板上的附著性，可增強感光材料的膜層結(jié)構(gòu)，使感光材料能承受高濃度的強酸、強堿等化學(xué)藥品的腐蝕和長時間高溫高濕的沸水蒸煮、急冷急熱的環(huán)境沖擊，具有較好的信賴性(可靠性)。