一種改善平板顯示器感光材料信賴(lài)性的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010100322.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101762989B 公開(kāi)（公告）日 2013-03-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN101762989B 申請(qǐng)公布日 2013-03-20
分類(lèi)號(hào) G03F7/20(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 林榮豐;詹國(guó)華;韓榮敏;滕術(shù)軍;王載忠;王金科 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 湖南普照愛(ài)伯樂(lè)平板顯示器件有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙新裕知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 湖南普照愛(ài)伯樂(lè)平板顯示器件有限公司;湖南電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司
地址 410205 湖南省長(zhǎng)沙市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)(麓谷)麓楓路40號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種改善平板顯示器感光材料信賴(lài)性的方法，采用黃光光刻工藝在基板上制作感光材料膜層，包括涂膠、曝光、顯影、固化步驟，其特征在于所述涂膠步驟中，形成的感光材料膜層厚為0.5-20um；曝光步驟中的曝光量至少為250mj/cm2。本發(fā)明方法可極大地提高感光材料在基板上的附著性，可增強(qiáng)感光材料的膜層結(jié)構(gòu)，使感光材料能承受高濃度的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等化學(xué)藥品的腐蝕和長(zhǎng)時(shí)間高溫高濕的沸水蒸煮、急冷急熱的環(huán)境沖擊，具有較好的信賴(lài)性(可靠性)。