一種刻蝕下噴淋系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220255246.X 申請日 -
公開（公告）號 CN202595278U 公開（公告）日 2012-12-12
申請公布號 CN202595278U 申請公布日 2012-12-12
分類號 C23F1/08(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張學(xué)文;張高中;王金科;戴毅;吳松 申請（專利權(quán)）人 湖南普照愛伯樂平板顯示器件有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 410205 湖南省長沙市高新區(qū)麓楓路40號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種生產(chǎn)效率高、避免過程損失的刻蝕下噴淋系統(tǒng)，包括傳送機(jī)構(gòu)，安裝在傳送機(jī)構(gòu)上端的上噴淋機(jī)構(gòu)，所述傳送機(jī)構(gòu)下端設(shè)有下噴淋機(jī)構(gòu)，所述上噴淋機(jī)構(gòu)和下噴淋機(jī)構(gòu)上設(shè)有壓力調(diào)節(jié)器。本實(shí)用新型的刻蝕下噴淋系統(tǒng)在制作雙面圖形時，可通過一次刻蝕實(shí)現(xiàn)，顯著提高了生產(chǎn)效率；在制作雙面圖形時不需要在剝離段之前手動收集基板，避免過程損失；在刻蝕單面圖形時還可以去除背面繞射。