平面位移測(cè)量裝置、平面運(yùn)動(dòng)設(shè)備及其使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911114034.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111006625B 公開（公告）日 2021-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN111006625B 申請(qǐng)公布日 2021-04-27
分類號(hào) G01B21/04;G01B21/06 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鄭州海為電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州知己知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 季發(fā)軍
地址 450000 河南省鄭州市二七區(qū)京廣中路126號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種平面位移測(cè)量裝置、一種平面運(yùn)動(dòng)設(shè)備及使用方法，屬于運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域。一種平面位移測(cè)量裝置包括兩組坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，每組坐標(biāo)測(cè)量?jī)x包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸平行于定位軸線設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)副、移動(dòng)方向垂直于定位軸線設(shè)置的移動(dòng)副、用于測(cè)量轉(zhuǎn)動(dòng)幅轉(zhuǎn)動(dòng)角度的角位移傳感器、用于測(cè)量移動(dòng)副伸縮量的直線位移傳感器，該兩組坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的轉(zhuǎn)動(dòng)軸和定位軸線均設(shè)置在第二平面內(nèi)，并設(shè)置在定位軸線的兩側(cè)。一種平面運(yùn)動(dòng)設(shè)備，包括靜物、動(dòng)物、兩組平面運(yùn)動(dòng)模組和平面位移測(cè)量裝置。一種使用平面運(yùn)動(dòng)設(shè)備的方法，控制動(dòng)物按其偏離向量平移，并通過平面位移測(cè)量裝置反饋的動(dòng)物位置確立動(dòng)物復(fù)位，完成動(dòng)物復(fù)位到靜物的初始位置的目標(biāo)。