一種用于空氣環(huán)境中的高靈敏氫氣傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110144024.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113155904A 公開（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113155904A 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類號(hào) G01N27/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 胡軍;陳敏瑞;謝波;劉伊妮;王一濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江固微科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 尉偉敏
地址 310014 浙江省杭州市下城區(qū)潮王路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于空氣環(huán)境中的高靈敏氫氣傳感器及其制備方法，包括干燥單元、傳感單元及外電路；傳感單元包括密封腔體以及設(shè)置在密封腔體內(nèi)的傳感組件，傳感組件包括設(shè)置在密封腔體底部的絕緣襯底、設(shè)置在絕緣襯底上表面的鈀團(tuán)簇薄膜以及設(shè)置在鈀團(tuán)簇薄膜兩端的兩個(gè)導(dǎo)電微電極，密封腔體上設(shè)有兩個(gè)接線端子，接線端子位于密封腔體內(nèi)的一端與導(dǎo)電微電極通過導(dǎo)線連接，位于密封腔體外的一端與外電路通過導(dǎo)線連接；密封腔體與干燥單元連通，干燥單元上設(shè)有進(jìn)氣口。本發(fā)明采用由鈀團(tuán)簇組成的滲流導(dǎo)電薄膜，能夠?qū)崟r(shí)感應(yīng)監(jiān)測空氣中氫氣濃度的變化，具有靈敏度高、響應(yīng)時(shí)間短的優(yōu)勢(shì)，并且在運(yùn)行過程中無需加熱，無需將氫氣預(yù)先分離。