一種便于對(duì)中的團(tuán)簇束流過濾器及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110144469.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113144760A 公開（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113144760A 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類號(hào) B01D46/00;B01D46/42;C23C14/22;G01N33/00 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 胡軍;謝波;陳敏瑞;丁伯勝;王一濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江固微科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠(chéng)專利事務(wù)所有限公司 代理人 尉偉敏
地址 310014 浙江省杭州市下城區(qū)潮王路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種便于對(duì)中的團(tuán)簇束流過濾器及其應(yīng)用，包括主體構(gòu)件和對(duì)中輔助構(gòu)件，主體構(gòu)件包括環(huán)形底座、固定環(huán)及過濾錐；環(huán)形底座一端外側(cè)設(shè)有外臺(tái)階環(huán)，固定環(huán)的內(nèi)側(cè)設(shè)有內(nèi)臺(tái)階環(huán)，固定環(huán)套設(shè)在環(huán)形底座外，通過第一連接件與安裝平面連接，環(huán)形底座與固定環(huán)的內(nèi)壁之間間隙配合，外臺(tái)階環(huán)頂面與內(nèi)臺(tái)階環(huán)頂面相貼合；過濾錐與環(huán)形底座可拆卸連接；對(duì)中輔助構(gòu)件包括對(duì)中輔助環(huán)和與對(duì)中輔助環(huán)內(nèi)徑相匹配的、套設(shè)在對(duì)中輔助環(huán)內(nèi)的對(duì)中輔助棒；對(duì)中輔助環(huán)與環(huán)形底座可拆卸連接。本發(fā)明將過濾錐安裝在一個(gè)位置可調(diào)的底座上來實(shí)現(xiàn)位置調(diào)動(dòng)功能，并通過輔助對(duì)中裝置使過濾器對(duì)中于團(tuán)簇束流軸線上，達(dá)到沉積高質(zhì)量團(tuán)簇組裝薄膜材料的目的。