基于LTCC的無源無線壓力、溫度集成傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810483326.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108507621B | 公開（公告）日 | 2018-09-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108507621B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-09-07 |
| 分類號(hào) | G01D21/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 馬名生;林琳;劉志甫;李永祥 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江矽瓷科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海瀚橋?qū)＠硎聞?wù)所（普通合伙） | 代理人 | 浙江矽瓷科技有限公司 |
| 地址 | 322118浙江省金華市東陽市橫店鎮(zhèn)萬盛街42號(hào)5樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種基于LTCC的無源無線壓力、溫度集成傳感器及其制備方法，解決現(xiàn)有傳感器測(cè)量參數(shù)以及信號(hào)響應(yīng)單一的問題。該傳感器具備：相互層疊的無線壓力敏感部和無線溫度敏感部；無線壓力敏感部包括：四層LTCC基板，其分別為中間層、位于中間層上、下方且各自帶有對(duì)應(yīng)空腔的第一、第二帶空腔層、以及位于第二帶空腔層下方的底層，中間層的上表面形成有平面電感和空腔平行板電容的第一電極，底層的上表面形成有空腔平行板電容的第二電極，兩電極與第一、第二帶空腔層的空腔對(duì)應(yīng)；無線溫度敏感部包括由LTCC基板構(gòu)成的基層，基層的一面形成有平面熱敏電感和平面叉指電容；壓力敏感部與無線溫度敏感部組成兩個(gè)具有不同諧振頻率的LC諧振回路。?? |
