一種低溫、低電壓陽(yáng)極鍵合基板材料及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811167938.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN109206015A 公開(kāi)(公告)日 2019-01-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN109206015A 申請(qǐng)公布日 2019-01-15
分類(lèi)號(hào) C03C10/12;H01L23/29;C03B32/02 分類(lèi) 玻璃;礦棉或渣棉;
發(fā)明人 李永祥;陳冠羽;劉志甫;馬名生;魏安慶 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 浙江矽瓷科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海瀚橋?qū)@硎聞?wù)所(普通合伙) 代理人 中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所;浙江矽瓷科技有限公司
地址 200050 上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1295號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種低溫、低電壓陽(yáng)極鍵合基板材料及其制備方法,所述陽(yáng)極鍵合基板材料的組分包括A2O?MOx?SiO2,其中A為L(zhǎng)i、Na、K中的至少一種;M為B、Al、Ga、In、Mg、Ca、P、V、Cu、Mn中的至少兩種;A2O含量為10~50 wt%,MOx含量為5~40 wt%,SiO2含量為10~70 wt%,各組分含量之和為100wt%。