一種低溫、低電壓陽極鍵合基板材料及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811167938.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109206015A 公開（公告）日 2019-01-15
申請公布號 CN109206015A 申請公布日 2019-01-15
分類號 C03C10/12;H01L23/29;C03B32/02 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 李永祥;陳冠羽;劉志甫;馬名生;魏安慶 申請（專利權(quán)）人 浙江矽瓷科技有限公司
代理機構(gòu) 上海瀚橋?qū)＠硎聞?wù)所（普通合伙） 代理人 中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所;浙江矽瓷科技有限公司
地址 200050 上海市長寧區(qū)定西路1295號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種低溫、低電壓陽極鍵合基板材料及其制備方法，所述陽極鍵合基板材料的組分包括A2O?MOx?SiO2，其中A為Li、Na、K中的至少一種；M為B、Al、Ga、In、Mg、Ca、P、V、Cu、Mn中的至少兩種；A2O含量為10～50 wt%，MOx含量為5～40 wt%，SiO2含量為10～70 wt%，各組分含量之和為100wt%。