一種可陽(yáng)極鍵合LTCC材料及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710128009.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN108529885B 公開(kāi)(公告)日 2019-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN108529885B 申請(qǐng)公布日 2019-10-15
分類號(hào) C03C8/24;C03C14/00;C03C10/12;H01L23/15;H01L21/60 分類 玻璃;礦棉或渣棉;
發(fā)明人 劉志甫;陳冠羽;李永祥;馬名生 申請(qǐng)(專利權(quán))人 浙江矽瓷科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海瀚橋?qū)@硎聞?wù)所(普通合伙) 代理人 中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所;橫店集團(tuán)控股有限公司;浙江矽瓷科技有限公司
地址 200050 上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1295號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種可陽(yáng)極鍵合LTCC材料及其制備方法和應(yīng)用,可陽(yáng)極鍵合LTCC材料包含:70~50 wt%的β?LiAlSi2O6微晶玻璃和30~50 wt%的β?Al2O3陶瓷。本發(fā)明與現(xiàn)有的可陽(yáng)極遷移LTCC材料相比實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)化的溫度低100℃,其鍵合溫度有望降至200℃,鍵合電壓有望降至500 V。