一種光致發(fā)光的檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020546229.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211825686U 公開（公告）日 2020-10-30
申請公布號 CN211825686U 申請公布日 2020-10-30
分類號 G01N21/63(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 藺旭利;黃良輝;楊至灝;賀克成 申請（專利權）人 佛山市瑞納新材科技有限公司
代理機構 佛山市禾才知識產權代理有限公司 代理人 佛山市瑞納新材科技有限公司
地址 528200廣東省佛山市南海區(qū)桂城街道夏南路12號天富科技中心3號樓一層101單元(住所申報)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光致發(fā)光的檢測裝置，包括：密閉箱體、硅放置板、相機支架、檢測相機和發(fā)光件；硅放置板安裝于密閉箱體的底部，用于放置硅片和/或晶圓片；相機支架的一端固定于密閉箱體內，另一端連接檢測相機；檢測相機的鏡頭部分指向硅放置板；發(fā)光件設置于檢測相機與硅放置板之間的位置；發(fā)光件包括：環(huán)狀安裝殼和燈件；環(huán)狀安裝殼為喇叭狀的通殼，其下底面的口徑大于上頂面的口徑；檢測相機的鏡頭位于上頂面的上方。環(huán)狀安裝殼的內環(huán)設有錐形端面；錐形端面設有若干個燈安裝口；燈件安裝于燈安裝口，燈件為紅外燈。檢測裝置能更準確、快速地捕捉到光子的分布，從而經過圖像處理得到所需要的器件結構的狀況，具有結構簡單、成本低和檢測精確的特點。??