一種用于超低頻水下聲學(xué)信號檢測的聲學(xué)測量單元及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210088706.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114112010A 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN114112010A 申請公布日 2022-03-01
分類號 G01H11/08（2006.01）I;G01S7/521（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊華;孫斐;陳杰;張浩 申請（專利權(quán)）人 青島國數(shù)信息科技有限公司
代理機構(gòu) 青島錦佳專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱玉建
地址 266000山東省青島市即墨市青島藍(lán)色硅谷創(chuàng)業(yè)中心一期——海創(chuàng)中心
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于聲學(xué)信號檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種用于超低頻水下聲學(xué)信號檢測的聲學(xué)測量單元及裝置。其中，聲學(xué)測量單元包括由下向上依次設(shè)置的SOI基座、下電極層、壓電層以及上電極層；SOI基座、下電極層、壓電層以及上電極層均為圓形；SOI基座包括由下向上依次設(shè)置的下硅層、二氧化硅層以及上硅層；SOI基座的底部設(shè)置空腔，該空腔在上下方向上貫穿下硅層；在由空腔位置向上正投影到上電極層的區(qū)域范圍內(nèi)形成有多個懸臂梁；其中，各個所述懸臂梁均為大小相等的扇形結(jié)構(gòu)，且沿著同一個圓周方向順序排布；任意相鄰兩個懸臂梁之間通過一條刻蝕溝槽隔開，且所有懸臂梁均與上電極層連接。本發(fā)明利于實現(xiàn)對超低頻聲音信號的感測，同時提高檢測靈敏度。