一種雙層AIN壓電薄膜水聽(tīng)器芯片單元、芯片以及水聽(tīng)器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111140667.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114034377A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114034377A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-11 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01H11/08（2006.01）I;H01L41/113（2006.01）I;H01L41/047（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 楊華;王曉波;張浩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 青島國(guó)數(shù)信息科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 青島錦佳專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 朱玉建 |
| 地址 | 266000山東省青島市即墨市青島藍(lán)色硅谷創(chuàng)業(yè)中心一期海創(chuàng)中心 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種雙層AIN壓電薄膜水聽(tīng)器芯片單元，其包括由下向上依次設(shè)置的SOI基片、第一AIN壓電層、第一電極層、隔離層、第二AIN壓電層以及第二電極層；第一電極層與第一AIN壓電層的外緣輪廓的形狀和大小均相同；第一電極層包括第一正電極和第一負(fù)電極；第一正電極設(shè)置于第一電極層的中心區(qū)域且呈圓形；第一負(fù)電極設(shè)置于第一電極層的外側(cè)邊緣區(qū)域且呈環(huán)形；第二電極層與第二AIN壓電層的外緣輪廓的形狀和大小均相同；第二電極層包括第二正電極和第二負(fù)電極；第二正電極設(shè)置于第二電極層的中心區(qū)域且呈圓形；第二負(fù)電極設(shè)置于第二電極層的外側(cè)邊緣區(qū)域且呈環(huán)形。本發(fā)明利于提高壓電效率以及壓電電荷的采集效率，從而提高水聽(tīng)器芯片的靈敏度。 |
