一種抗高過載的電容式MEMS振動環(huán)陀螺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023000273.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214121212U 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN214121212U 申請公布日 2021-09-03
分類號 G01C19/5684（2012.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃尉;李晶;劉東;葛志鵬;韓世杰;武浩;李慧娟;包艷萍;陳紅;付博 申請（專利權(quán)）人 淮海工業(yè)集團有限公司
代理機構(gòu) 北京正陽理工知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王松
地址 046012山西省長治市惠豐街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開的一種抗高過載的電容式MEMS振動環(huán)陀螺，屬于MEMS微機電系統(tǒng)的硅微環(huán)形振動結(jié)構(gòu)領(lǐng)域。本實用新型包括振動環(huán)諧振子、支撐彈簧、驅(qū)動控制電極、檢測控制電極。振動環(huán)諧振子用于生成角度和角速度，驅(qū)動控制電極和檢測控制電極間隔對稱分布在振動環(huán)諧振子外側(cè)，作為電容電極，組成電容式傳感器，將位移變化量轉(zhuǎn)換為電容變化量。支撐彈簧將振動環(huán)諧振子和玻璃錨點連接。當驅(qū)動控制電極的輸入信號頻率與振動環(huán)諧振子的固有頻率一致時，能夠激勵出振動環(huán)諧振子的振動。本實用新型采用靜電力驅(qū)動、電容檢測，具有抗高過載性能好、體積小、響應(yīng)速度快、靈敏度高的優(yōu)點，能夠在后期調(diào)整改善其陀螺性能。