一種氣體團簇離子源產(chǎn)生方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710664910.3 申請日 -
公開（公告）號 CN107393794A 公開（公告）日 2017-11-24
申請公布號 CN107393794A 申請公布日 2017-11-24
分類號 H01J37/08(2006.01)I;H01J27/02(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 瓦西里·帕里諾維奇;曾曉梅;付德君 申請（專利權）人 武漢飛安磁光電科技有限公司
代理機構 武漢華旭知識產(chǎn)權事務所 代理人 邱琳
地址 430070 湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)大學園路20號武漢普天科技園1幢特區(qū)1-102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種氣體團簇離子源產(chǎn)生方法，利用脈沖控制閥控制噴出脈沖式氣流束，脈沖式氣流束經(jīng)過分束器，中性團簇粒子和部分單原子通過分束器，脈沖式氣流束經(jīng)過電離器進行離化，脈沖式氣流束繼續(xù)經(jīng)過吸極，在吸極內(nèi)獲得初始加速度并匯聚形成收斂的圓錐形氣流束，圓錐形氣流束繼續(xù)經(jīng)過加速器和透鏡后通過E型永久磁鐵，形成團簇離子束。本發(fā)明同時提供了一種氣體團簇離子源產(chǎn)生裝置，包括脈沖控制閥以及沿脈沖式氣流束噴出方向依次布置的分束器、電離器、吸極、加速器、透鏡以及E型永久磁鐵。本發(fā)明可在標準溫度和一定氣壓下使得中性團簇在與電子的碰撞中發(fā)生電離，形成氣體團簇離子，后在吸極等作用下，匯聚成團簇離子束。