一種強(qiáng)流低能團(tuán)簇離子束導(dǎo)向裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720100087.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206685346U 公開（公告）日 2017-11-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN206685346U 申請(qǐng)公布日 2017-11-28
分類號(hào) H01J37/147;H01J37/317 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王澤松;韓濱;瓦西里·帕里諾維奇;余益飛;付德君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢飛安磁光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢華旭知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 劉榮;周宗貴
地址 430070 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)大學(xué)園路20號(hào)普天科技園1大樓一層103-3室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種強(qiáng)流低能團(tuán)簇離子束導(dǎo)向裝置，包括一對(duì)間隔分布的電極和一對(duì)設(shè)置于電極周圍的磁鐵，電極通過(guò)一對(duì)絕緣體固定并且與磁鐵相互隔離，兩個(gè)電極之間區(qū)域構(gòu)成離子束通道；磁鐵和絕緣體通過(guò)位于磁鐵兩端的一對(duì)極靴固定，兩個(gè)磁鐵均為永磁鐵或電磁鐵；本實(shí)用新型可提供穩(wěn)恒?可變兩種磁場(chǎng)模式，通過(guò)改變電場(chǎng)強(qiáng)度大小，可調(diào)節(jié)團(tuán)簇離子束流輸運(yùn)方向，通過(guò)極靴和絕緣體固定磁鐵與電極，保證磁鐵不會(huì)相互排斥或吸引而偏離固定位置，保證磁鐵安裝的靈活性和安全性，絕緣體隔離磁鐵與電極，以保證磁鐵與電極位置固定以確保各自的磁場(chǎng)、電場(chǎng)分布比較均勻，確保調(diào)節(jié)束流方向，在強(qiáng)流低能團(tuán)簇離子束納米加工設(shè)備中具有重要的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。