一種強流低能團簇離子束導向裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720100087.9 申請日 -
公開（公告）號 CN206685346U 公開（公告）日 2017-11-28
申請公布號 CN206685346U 申請公布日 2017-11-28
分類號 H01J37/147;H01J37/317 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王澤松;韓濱;瓦西里·帕里諾維奇;余益飛;付德君 申請（專利權(quán)）人 武漢飛安磁光電科技有限公司
代理機構(gòu) 武漢華旭知識產(chǎn)權(quán)事務所 代理人 劉榮;周宗貴
地址 430070 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)大學園路20號普天科技園1大樓一層103-3室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種強流低能團簇離子束導向裝置，包括一對間隔分布的電極和一對設(shè)置于電極周圍的磁鐵，電極通過一對絕緣體固定并且與磁鐵相互隔離，兩個電極之間區(qū)域構(gòu)成離子束通道；磁鐵和絕緣體通過位于磁鐵兩端的一對極靴固定，兩個磁鐵均為永磁鐵或電磁鐵；本實用新型可提供穩(wěn)恒?可變兩種磁場模式，通過改變電場強度大小，可調(diào)節(jié)團簇離子束流輸運方向，通過極靴和絕緣體固定磁鐵與電極，保證磁鐵不會相互排斥或吸引而偏離固定位置，保證磁鐵安裝的靈活性和安全性，絕緣體隔離磁鐵與電極，以保證磁鐵與電極位置固定以確保各自的磁場、電場分布比較均勻，確保調(diào)節(jié)束流方向，在強流低能團簇離子束納米加工設(shè)備中具有重要的實際應用價值。