一種氣體團(tuán)簇離子源產(chǎn)生方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710664910.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107393794B 公開（公告）日 2019-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN107393794B 申請(qǐng)公布日 2019-09-10
分類號(hào) H01J37/08（2006.01）I; H01J27/02（2006.01）I; H01J37/317（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 瓦西里·帕里諾維奇; 曾曉梅; 付德君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢飛安磁光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢華旭知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 邱琳
地址 430070 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)大學(xué)園路20號(hào)武漢普天科技園1幢特區(qū)1-102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種氣體團(tuán)簇離子源產(chǎn)生方法，利用脈沖控制閥控制噴出脈沖式氣流束，脈沖式氣流束經(jīng)過分束器，中性團(tuán)簇粒子和部分單原子通過分束器，脈沖式氣流束經(jīng)過電離器進(jìn)行離化，脈沖式氣流束繼續(xù)經(jīng)過吸極，在吸極內(nèi)獲得初始加速度并匯聚形成收斂的圓錐形氣流束，圓錐形氣流束繼續(xù)經(jīng)過加速器和透鏡后通過E型永久磁鐵，形成團(tuán)簇離子束。本發(fā)明同時(shí)提供了一種氣體團(tuán)簇離子源產(chǎn)生裝置，包括脈沖控制閥以及沿脈沖式氣流束噴出方向依次布置的分束器、電離器、吸極、加速器、透鏡以及E型永久磁鐵。本發(fā)明可在標(biāo)準(zhǔn)溫度和一定氣壓下使得中性團(tuán)簇在與電子的碰撞中發(fā)生電離，形成氣體團(tuán)簇離子，后在吸極等作用下，匯聚成團(tuán)簇離子束。