真空控制組件及鍍膜設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021666439.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212955336U 公開（公告）日 2021-04-13
申請公布號 CN212955336U 申請公布日 2021-04-13
分類號 C23C14/56(2006.01)I;C03C17/00(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 賈建濤;張要朋;汪傳龍;李厚德;陳文兵;馬豐停 申請（專利權）人 浙江旗濱節(jié)能玻璃有限公司
代理機構 深圳市世紀恒程知識產(chǎn)權代理事務所 代理人 張志江
地址 312000浙江省紹興市陶堰鎮(zhèn)白塔頭村1幢3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種真空控制組件及鍍膜設備，其中，所述真空控制組件用于鍍膜設備的真空腔體，所述真空控制組件包括：進出口腔室，所述進出口腔室與所述真空腔體相連通，所述進出口腔室上設置有出氣孔；真空泵，設于所述進出口腔室外側，所述真空泵的抽氣管與所述出氣孔相連通；以及加熱器，設于所述進出口腔室表面，并靠近所述出氣孔設置。本實用新型通過采用加熱器設置在進出口腔室表面，使加熱器能夠對進出口腔室的出氣孔部位進行加熱，以使出氣孔部位保持在預設溫度，進而可以防止出氣孔部位產(chǎn)生結冰而導致真空泵的抽氣管堵塞的問題。??