一種鈮酸鋰集成MZI型光波導大電流傳感器及測量系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110749761.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113433368A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113433368A 申請公布日 2021-09-24
分類號 G01R15/24;G01R19/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱琨;陸德堅;張家洪;陳福深 申請（專利權(quán)）人 北京森馥科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京東方盛凡知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 李娜
地址 102218 北京市昌平區(qū)北七家鎮(zhèn)宏福10號院4號樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種鈮酸鋰集成MZI型光波導大電流傳感器及測量系統(tǒng)，傳感器包括：x切y傳鈮酸鋰晶片作為鈮酸鋰集成MZI型光波導大電流傳感器的襯底；多環(huán)形天線接收載流導線產(chǎn)生的磁場信號生成感應電流；調(diào)制電極與多環(huán)形天線集成于非對稱MZI光波導上，多環(huán)形天線的每一環(huán)左右兩邊均設(shè)置有一對調(diào)制電極；非對稱MZI光波導設(shè)置于x切y傳鈮酸鋰晶片上；多環(huán)形天線和載流導線通過所述底座處于同一平面，且載流導線設(shè)置于鈮酸鋰集成MZI型光波導大電流傳感器的側(cè)邊。本發(fā)明能夠在與被測電流無接觸的條件下，安全地進行電流測量，同時還避免了能量的輻射，提高了測量效率，并且極大地提高了傳感器的集成度和穩(wěn)定性，降低了結(jié)構(gòu)的復雜程度。